Alumina Ceramic

KCM Technology

KCM Product 01

导体设备Զ

导体ݻ

导体产专设备飬CVDALD溅仪Dry Etch设备ʦ温压环运组˷体内ݻݻʦڪ˷体内ݻ对温ݯ蚀学极˭Զ

氧铝Զұ热ұبұ离护体˷体壳会为运圆Arm߾ݻ电极扩ߤݻ电极񨣩˷体内ݻPhoto Chuckݻġ

99.99%纯AI2O3Զ

导体产业续发ͣ对ʦ极Σ/温环长Ѣ导体设备ݻ专Զϴ剧
99.99%纯AI2O3Զұ离ұʦ应对ʦ为导体设备ݻģʦ电产业广应领洡 (ESCٽڰ应ݻ졢˷体ݻ졢绝缘ݻ)

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DIELECTRIC WINDOW导体设备Dry Etcherݻ죬ʦEtcher Chamber(cover)
DIELECTRIC WINDOW߾۰装ʦ氟ͧݯ蚀气体离体Plasma线꣨Coil۰˭氟ͧ离体飬产ݯ蚀(Erosion)

为颗أParticle护DIELECTRIC WINDOW产进ұ离体涂层

BASE CATHODE INSULATOR DPS MEC 99.8%
AI2O3 Զ / DRY ETCHER

ULTIMA HDP CERAMIC DOME / CVD

CERAMIC WAFER LOADER ARM

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