ディスプレイの大型化

全世界的に、ディスプレイ基板サイズが8世代か ら10.5世代に移行しながら、大面積のセラミッ ク材料に対する需要が増えました。

10.5世代のICPエッチング装置には、Dielectric Windowなど超大型セラミック材料が必要であ り、超大型ガラス基板の周囲にプラズマの均一 性を維持し、装備を保護し、ガラス基板を安定 的に吸着・固定するために、Long bodyと Wide body形態のShield Plates、ESCなどが必 要です。

このとき、Long body型の製品は、10.5世代級 のディスプレイ用ガラス基板のEnd effectorな ど左右のエッジ部分を処理したセラミック部品 のDry etcher機器に混用され、Wide body型製 品は、Dry etcher機器内の誘電体セラミックと ESC母材に使用されます。
当社は、超大型のセラミック製品の量産のため の技術を保有しており、これに関連し、特許を保 有(第10-2023972号、超大型セラミックス焼結 体の製造方法)しています。