Alumina Ceramic

KCM Technology

KCM Product 02

디스플레이 장비용 Ceramic

디스플레이용 소재

디스플레이를 생산하기 위해서는 박막트랜지스터(TFT) 기판 위에 증착된 금속 및 반도체층 중 불필요한 부분을 플라즈마를 이용해 정밀하게 깎아내는 ICP 식각장비가 필요합니다.

LCD와 OLED 패널의 개별 화소를 구동하는 TFT는 반도체와 같은 포토리소그래피 공정을 통해 만들어지며, TFT는 디램이나 낸드에 비해 제조 공정이 훨씬 단순한 반면에 기판의 사이즈가 큽니다.

Alumina 세라믹은 Dielectric Window, Shield Plates, ESC 등의 부품으로 사용됩니다.

Long body : 4000x500x40t / Wide body : 2000x1200x50t

디스플레이의 대형화

전 세계적으로 디스플레이 기판 크기가 8세대에서 10.5세대로 넘어오면서 대면적 세라믹 소재에 대한 수요가 증가하였습니다.

10.5세대의 ICP 식각장비에는 Dielectric Win- dow 등에 초대형 세라믹 소재가 필요하고, 초대형 유리기판 주위에 플라즈마 균일도를 유지하고 장비를 보호하며 유리 기판을 안정적으로 흡착 · 고정하기 위해 Long body와 Wide body 형태의 Shield Plates, ESC 등이 필요합니다.

이때, Long body 형의 제품은 10.5세대 급의 디스플레이용 유리기판의 End effector 등과 같이 좌우 에지 부분을 처리한 세라믹 부품과 Dry etcher 장비로 혼용되며, Wide body형 제품은 Dry etcher 장비 내의 유전체 세라믹과 ESC 모재용으로 사용됩니다.

당사는 초대형 세라믹 제품 양산에 대한 기술을 보유하고 있으며, 이와 관련한 특허를 보유 (제 10-2023972호, 초대형 세라믹스 소결체의 제조 방법)하고 있습니다.

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