显示器的大型化

随着全球显示器基板型号从 8代转为10.5代，对大面积陶瓷原材料的需求也 逐步增加。

10.5代 ICP 蚀刻设备 Dielectric Window 等需要 超大尺寸陶瓷原材料，为在超大尺寸玻璃基板 周围维持等离子均衡度、保护设备、稳定吸附· 固定玻璃基板而需要 Long body及 Wide body 形状的 Shield Plates, ESC 等。

此时，Long body 型产品如10.5代级显示器用玻 璃基板 End effector 等为处理左右边缘部分的 陶瓷零部件和 Dry etcher 设备混合使用，Wide body型产品作为 Dry etcher 设备内部电介质陶 瓷和 ESC 母材用途使用。

本公司拥有超大型陶瓷产品量产技术以及相 关专利(第10-2023972号, 超大尺寸陶瓷烧结体 制作方法)。